小说620

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第130章 点光测试（第1页）

带着感光芯片回到平江后，康驰又重新投入到了繁忙的工作中，同时出于优先级考虑，相机的事情也只能往后排。

时间一天天过去，距离何永说的一个月改良期限也越来越近了。

终于，在11月13号的这天，何永的电话打过来了。

“设备已经改造完毕，正在做实验前的最后检查工作，预计15号就可以开始进行测试了。”

“嗯，我明天过来，这段时间辛苦你们了。”

两人随后简单地聊了几句便结束了通话。

随后康驰重新梳理了大唐重工的研发工作，确定在没有他的情况下，项目也能正常推进，然后便开始动身前往常春。

两天后，常春光所的洁净实验室内，dpp-euv光源项目组的研究人员，都已经全副武装地坚守在各自的岗位上，进行着测试前最后的一遍检查工作。

康驰此时也站在控制室，隔着玻璃看着里面那台体积和普通卧室差不多大的光源设备，内心同样充满期待。

只要把光源搞定了，那他光刻机的研制进度，最少能暴涨三分之一。

加上平江已经组装完毕的镜片制造设备，以及正在攻关的工件台。

euv光刻机三大件合体调试时间，已经是指日可待了。

何永对设备的主要参数，以及实验条件进行最终核对后，走到了康驰的身边，尽量压沉音量道：“各项参数都已经核查无误，可以开始了。”

“那就开始吧。”

“嗯！”

这次的实验主要分两个阶段进行，

第一阶段只对设备进行通电，然后喷锡气，测试磁场是否能够和预想中的那样，把锡气给一丝不落地吸到废料收集器中。

随着何永开始实验命令下发后，实验室内外的工作人员立即开始行动了起来。

设备通电，磁场加压……

随着屏幕上的数据疯狂跳跃，数字最后定格在了三千高斯。

这個磁场强度，和可控核聚变几十万高斯的磁场强度显然没得比，但两者的体积和目的不同，其实没啥可比性，

对于euv光源来说，只能要约束住等离子体和锡液碎屑就行了，再高的强度也只是浪费电而已。

“第一次喷射准备，喷射！”

随着工作人员按下按钮……似乎啥也没发生。

嗯，这不是火箭发射，人根本就不可能通过肉眼，看到锡气的喷射……

在用激光击打锡液的lpp方案中，为了产生稳定而高功率的光源，需要每秒发射5万次的激光，并且次次命中锡液。

而在dpp方案中，则是通过正负极的通电‘点火’频率来实现，技术难度简单很多，同时因为光电开关的频率提升难度小，功率的提升空间就非常大了。

真正的限制，是锡气的喷射频率。

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