手机浏览器扫描二维码访问
工件台又一次加热硅片,给工件做了一次坚膜,加固已经保留的光刻胶,进一步清除不需要的那部分胶以及其他成分的残留物。
坚膜完成之后,硅片被再次从头开始,开始了第二次的光刻流程,用的还是那块标准掩模。
显影完成后,二次光刻的光刻胶被固化,多余部分被清除,硅片被送到了显微镜下。
刚刚把硅片表面的清晰显微图像跳出来,马娟就语带欣喜的啊了一声。
“师兄,有了有了,能看出来,精度好高啊!”
马娟一边瞄着显微镜,一边嘴里喊着。
对于套刻精度高这一点,高振东是有所预计的,决定套刻精度的主要就是工件台,而三轧厂的一帮老师傅大发神威,将工件台的定位精度搞到了1.5μm。
而东北光学所的光学系统图形畸变只有1个μm不到,这两者结合起来,套刻精度绝对差不了。
不过估计归估计,在没看到真正结果那一天,谁都不敢彻底把心放下来。
听见马娟的话,高振东哈哈大笑:“来来来,我看看。”
马娟从显微镜下让开,高振东把眼睛凑到显微镜的目镜外,显微镜里甚至能看到他自己的眼睫毛,但他现在明显没有闲心观察自己的睫毛是否好看,急着往视场里看去。
显微镜里,两次光刻的痕迹非常明显,一条叠在另一条上面,重合度非常高。
两次光刻的痕迹,两边各露出来一小部分,这部分的单边宽度,基本上就是套刻误差了,粗粗看去,目测连整个线宽的一小半都不到。
“好!
太好了!
马娟,你们选取一些典型点位,要覆盖到整个硅片,马上做个比较全面的测量比较。”
另外一个试验人员走了上来,和马娟一起,一边找点,一边测量,一边记录。
时间的相对论在这里体现得淋漓尽致,马娟她们觉得时间过得很快,而等结果的高振东等人觉得时间过得太慢了。
又快又慢的一段时间过去后,试验人员在计算机面前坐下来,开始将数据输入计算机,这种简单统计分析,他们都是直接在源代码里敲数据。
处理算法的C代码早就写好了,现在他们就是在往一个数组里填数据而已。
这种办法,好就好在处理算法可以随时根据需要修改。
键盘声啪啪作响,现场人员的心情反而安定下来,从刚才他们测量中报的数来看,这个结果差不了。
随着最后一个数据输入完毕,马娟启动了编译-运行指令。
算法过于简单,没有带来任何调试上的麻烦,很快,屏幕上就跳出了一个数字。
编过临时程序的人都懂,怎么简单怎么来,这个数字甚至不带任何单位。
“1.97”
。
其实小数点后一位就够了,那个没有写出来的单位,是μm。
2μm!
虽然早有所料,但是当这个数字跳出来的时候,高振东还是哈哈大笑了起来。
419心理诊所 隔壁大叔是只狗 太虚神王之崛起之路 发情的男人与冷漠的男人 【快穿】种马总攻的肉欲之旅 恶雌装乖后,病娇兽夫都想独占我 葬身火海后,嫡女杀光全家 快穿后我成了别人的金手指 坏孩子 教反派做贤妻[综英美] 神君快到怀里来 霍总太太不复婚只改嫁相思一顾笔趣阁免费阅读 红灯区 全职猎人:阴影之上 毒妃在上,邪王在下/师父如花隔云端 宋医生,我头疼 贺桑宁霍景舟霍总太太不复婚只改嫁无防盗章节 相思一顾作品霍总太太不复婚只改嫁 重生一九四四 就想看你跪在我脚边
超级古武简介emspemsp关于超级古武陈晋元人品大爆发,获得了一个超级古武召唤空间,在这个空间中陈晋元可以召唤不同等级的古武者,无偿的获得其古武传承。并且还可以付出相应的兑换值,获得被召唤者所拥有的东西,甚至是其牛X的...
特战兵王简介emspemsp有杨明所在的神狼特战队,让敌人闻风丧胆,狼牙一出,血海无边,锋芒一露,天地变色。为了民族大义,为了国家使命,杨明浴血奋战,只有胜利,没有失败。更┆多┆精┊彩┇书┊籍woo18vipWoo18vip...
极品小神医简介emspemsp小道士下山寻医经,醉卧美人膝,醒掌天下权。纵横惬意!emspemsp原┊创┇文┊章wоо⒙νiρ﹝Wσó⒙νiρ﹞woo18vip...
世人所謂「子不語怪力亂神」。卻不知其生於戰火漸逝的魯地,自然不曉得戰亂繁生之際,禍及蒼生的鬼神之事。秦山部落一名弱女子-虞茴,本想安穩度日,卻被雙親賣至群魔亂舞的煙花之地,繼而鬼使神差地...
++我叫陈曦,接连几天梦到了父母跳楼自杀,他们空洞的眼神让我险些崩溃!在遇到师父后,才知道我是被人下了咒,为了解咒,我只能瞒住所有人,顶住全部的压力做出休学的决定!我仿佛被一只大手推着前进,直到我见识到了这个世界的阴暗面,他们(道家弟子)都在为这个世界作出牺牲,我想这就是我的宿命。我一步步变强,直到亲手斩杀了仇人,...
谢虞欢这辈子做的最疯狂的一件事就是在自己还是皇贵妃时在亲妹妹的洞房夜里睡了新郎。新帝登基,怀中抱着一个尚在襁褓中的孩子,她将是朕唯一的子嗣。群臣惶恐,皇上,万万不可啊。而孩子的生母却无人知晓。后来,帝王身边多了一个女子,传闻那女子疯癫无常。她在声色犬马的乱世步步为营,从少年将军到两朝为后。她的一生,堪称传奇小剧场月黑风高夜,正是撩人时。某女伸着纤纤玉指轻轻划过某帝的前襟,媚眼如丝,吐气如兰,皇上,臣妾不比奏折好看?某帝正襟危坐,凤眸微眯,怀孕了也不老实?夫君~某帝抱住某女往龙榻走去,今晚你上,我下。如果您喜欢丞相大人不好撩,别忘记分享给朋友...