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张文明站在宽敞的工厂中,他的目光紧紧锁定着从烤箱中缓缓升起的氧化硅晶圆。
接下来就是进入下一个环节,涂胶。
一张张硅晶圆会被送进专涂胶的设备涂胶机当中,机器当中有一个能旋转的吸盘,当第一张硅晶圆送入涂胶机那吸盘上后,文明已经设置好了机器的参数。
毕竟这是第一张硅晶圆,得认真对待,才能保证后面的硅晶圆都能顺利的经过这些流程。
机器上方的一个喷嘴,朝硅晶圆中心吐出了一滴透明且粘稠的液体。
随后吸盘开始旋转,在离心力的作用下,液体被甩了出去,朝晶圆四周均匀的蔓延开来。
后续的硅晶圆也同样如此,接下来便是下一个环节,也就是光刻!
十字线处理器将晶圆送入EUV光刻机当中,从中射出的极紫外线经过透镜的一系列反射聚焦把光掩膜板上的图像打到了晶圆表面的光刻胶上。
在光的作用下,光刻胶上的化学物质产生了反应,整个过程比自己想象中的还要快,当第一张晶圆光刻完毕后,就会被晶片处理器送出光刻机。
……
另一边,璃戮来到了工厂,指示牌上提示,为了安全起见进入工厂之前,就必须得换一套防护服。
指示牌还贴心的将路指向了更衣室的大门,此刻的大门是开着的,因为张文明赶时间,所以并没有关门,璃戮也便顺利地走了进去。
然而,她一进入更衣室,看着一套套防护服就陷入了久违的沉默之中。
“这些衣服怎么穿呢?”璃戮挠挠头。
……
而这边,张文明此刻已经完成了显影步骤,所谓显影,就是把光刻胶上面不需要的部分给清洗掉。
喷雾旋转烘干的混凝式显影完毕后,将包括第一张硅片在内的第一批晶圆放入烤箱中,这样做是为了让光刻胶粘的更加牢固。
不过整个过程需要三十分钟。
三十分钟,对于张文明来说,如坐针毡是如此的漫长。
这时,只听一声橡胶鞋的脚步声传来,张文明有些疑惑的皱了皱眉。
谁呀?
他顺着声音转过身去,就见到了一位穿着臃肿防护服的人在了过来。
他顿时被眼前这莫名其妙出现在这里的人吓了一跳!
那人见张文明,有些抱歉的开口:“文明,是我,对不起,吓到你了。”
张文明闻言,见璃戮的声音,便迈步上前:“璃戮?是你?”
璃戮点头回应:“嗯!”
张文明防护服下的嘴角不由的浮现一抹笑容,看着璃戮那不合身的防护服,他很难想象和璃戮这样的邻家小妹形态联系到一块。
张文明闭上眼,嘴角上扬:“不过,至少我并不孤独。”
璃戮问:“张文明,那你现在要做什么呢?”
“我做的是半导体,我们现在的流程是显影,这一批要在这边烤半个小时。”
于是,张文明便和璃戮聊起了天,有人便聊到了芯片的制作流程。
因为璃戮并不懂这些,只是认为这不过是普通的手工艺品而已。
……
烤完硅片后,将其取出,而接下来就遇到了一个更加严酷的问题,那就是刻蚀。
“璃戮,我们现在做的是刻蚀。”张文明一边走,目光和璃戮对视,介绍着制造流程:
“刻蚀说白了就是挖坑,如果说我们前不久的显影,是在光刻胶上挖坑,那我们所做的就是在硅片上挖坑。”
“这种挖坑方式有两种,一种是湿法刻蚀,但这种方法呢,也存在很多问题,其中最臭名昭着的就是各项同性问题。”
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